Přístroje

TOF-SIMS 5 hmotnostní spektrometr

TOF-SIMS 5 : Vynikající vlastnosti pro všechny SIMS aplikace

Přístroj TOF-SIMS 5 je poslední generací modelů TOF-SIMS (time-of- flight) vyvinutý v předchozích 25 letech. Jeho konstrukce zaručuje optimální výkonnost pro všechny aplikace SIMS (hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů). Obsahuje vysoce přesný manipulátor se vzorky, stejně jako systém pro kompenzaci nabíjení vzorků, což umožňuje analýzu téměř všech druhů vzorků a tak je typ TOF-SIMS 5 nejuniverzálnějším SIMS na trhu.
Modulární konstrukce přístroje dovoluje instalaci několika z řady optimalizovaných iontových děl, různé typy příslušenství pro přípravu a uchycení vzorků a dalších speciálních doplňků. Tím lze splnit řadu náročných analytických cílů. Plné počítačové ovládání přístroje a jeho parametrů zaručuje jednoduchost ovládání a vysokou úroveň automatizace.
Základní varianta přístroje obsahuje reflektronový typ TOF analyzátoru, poskytující vysokou průchodnost sekundárních iontů s velmi vysokým hmotovým rozlišením a vzorkovou komoru s manipulátorem v 5 osách (x, y, z, rotace a náklon) pro snadnou navigaci na vzorku a také rychlou vstupní vakuovou předkomůrku (load-lock), dále pak příslušenství pro kompenzaci elektrického nabíjení vzorku vhodné pro analýzu elektricky nevodivých vzorků, detektor sekundárních elektronů a moderní vakuový systém pro čerpání vnitřních prostor přístroje a komplexní datovou stanici a software umožňující totální automatizaci přístroje a zpracování naměřených dat.
K dispozici je škála příslušenství a doplňků jako ohřev a ochlazování vzorků pro analýzu těkavých složek, laserová postionizace neutrálních částic, atd. Lze nabídnout i různé sestavy pro in-situ přípravu vzorků včetně systémů pro přenos vzorků. Zvláště pak vysokovakuová kombinace s technikami jako je XPS, Augerova spektroskopie, a jiné UHV aplikace dovolují analýzu vzorků vícenásobnými technologiemi bez nutnosti vystavení vzorků vzduchu.

TOF-SIMS 5 se vyrábí v různých provedeních podle velikosti vzorkové komory:

• 4“ verze – pro vzorky o průměru max. 100 mm
• 8“ verze – pro vzorky o průměru max. 200 mm
• 12“ verze – pro vzorky o průměru max. 300 mm

Základní parametry TOF-SIMS 5:

• Ultravysoké zobrazující rozlišení pomocí nové Bi nanosondy
• Vynikající schopnosti nízkoenergetického hloubkového profilování
• Unikátní schopnosti hloubkového profilování MCs+ a pro malé oblasti povrchu vzorku
• Nedostižný dynamický rozsah a nízké detekční limity
• Sofistikovaný software pro snadnou obsluhu přístroje a zpracování dat
• Modulární konstrukce pro různé sestavy optimalizované podle aplikace
• Ergonomická konstrukce a malý půdorys přístroje pro snadnou instalaci

Příslušenství:

• Bi nanosonda
• Zdroj iontových aglomerátů ( klusterů) - GCS
• Tubus se dvěma iontovými zdroji
• EDR analýza
• Rychlá rotace vzorku
• Ohřev a ochlazování vzorku
• Adaptér pro přenos vzorku bez kontaktu se vzduchem
• Speciální držáky vzorků
• Glove box
• FIB systém pro GCS

stránky výrobce