Přístroje

Autoemisní rastrovací mikroskop SU5000

SU5000 Univerzální Schottky FE-SEM Hitachi se snadnou obsluhou

SU5000 je nový univerzální autoemisní Schottky SEM ideálně vhodný pro širokou škálu aplikací zobrazování a analýzy.
25 let  know-how firmy Hitachi se SEM je zúročeno v SU5000 tak, aby SEM rychle a snadno poskytl nejlepší možné výsledky při vysokém zvětšení, nezávisle na úrovni zkušeností obsluhy.

SU5000 Parametry a funkce
Jak zobrazování při vysokém zvětšení, tak ultra rychlá analýza, jsou dosahovány pomocí nově vyvinutého Schottkyho elektronového děla, poskytujícího stabilní a jemně zaostřenou sondu s proudy od 1pA up do >200nA.

Díky nové superkonické objektivové čočce SU5000 nedochází k průniku rozptýlených magnetických polí do vzorku a tak lze rutinně pozorovat i magnetické vzorky. Tato konstrukce čočky zaručuje použití analytických technik jako EDX, EBSD, WDX atd. a to při krátkých pracovních vzdálenostech.

Zobrazování s vysokým rozlišením je zlepšeno funkcí zpomalení elektronového svazku, s dopadovými energiemi až 100eV. SE rozlišení 2nm při 1kV se dosahuje běžně. Simultánní použití vysoce citlivého in-column SE detektoru a unikátního 5 segmentového BSE detektoru je otázkou kliknutí.

Nevodivé a dokonce vlhké či olejné vzorky se pozorují v režimu VP-SEM (variabilní tlak v komoře). Komora pro vzorky se tlakuje mezi 10 a 300Pa pouhým kliknutím myši.
Tubus a vakuový systém jsou navrženy optimalizovaně pro režim VP:

  • Analytický proud sondy až do 200nA je v režimu VP také k dispozici
  • Zobrazování pomocí 5 segmentového BSE detektoru (standardní v option VP balíčku) a Detektoru pracujícího v celém rozsahu tlaků komory (Ultra variable pressure detector =UVD) je možné v celém rozsahu zvětšení
  • Výměna či zasouvání apertur či detektorů omezovaných tlakem není nutná

Flexibilní konstrukce vysouvacího stolku pro vzorky SU5000 umožňuje rychlou záměnu vzorků o průměru až 200mm a výšce 80mm. Přímým a pohodlným přístupem ke komoře a vzorku, včetně záměny příslušenství pro upevnění vzorku se jejich výměna urychlí. Speciální stolky pro ohřev, chlazení, tahové či tlakové experimenty, použití mikromanipulátorů apod. jsou také k dispozici.

Revoluční ovládání SEM: EM Wizard
SU5000 nabízí vysokou výkonnost  -  a to pro každého! EM Wizard je skutečně inovativní koncepce ovládání:  namísto toho, aby si obsluha sama musela vybírat celou řadu parametrů nastavení, jako energii svazku, proud, výběr detektoru, nastavení tubusu a stigmatizmu, EM Wizard si jednoduše vyžádá od operátora, jaký typ informace o vzorku potřebuje. Pak se automaticky nastaví parametry zobrazení. Plně automatické nastavení tubusu a stigmatizmu, vycházející z 25-letých zkušeností Hitachi u plně automatizovaných systémů CD-SEM, je vestavěno do tohoto unikátního software a eliminují problém s výsledky závislými na operátorovi. Manuální ovládání je samozřejmě také k dispozici pro ty, kteří si sami chtějí nastavit parametry.

Navigace na vzorku a výběr požadované perspektivy zobrazení nebyl nikdy snazší. Hitachi's Nový systém výběru zobrazení firmy Hitachi,  3D-MultiFinder, kombinuje importované optické obrazy do komplexní funkce 3D navigace. Stačí si jen vybrat, jak se na vzorek chcete podívat, a SEM bude vaše přání následovat.

Pomocí funkce EM Wizard mohou začátečníci získat výsledky jako experti.

  • Automatická a okamžitá intuitivní optimalizace obrazu
  • Vizuální a interaktivní průvodce umožňuje operátorovi vybrat typ informace, který chce o vzorku získat, optimalizovat operační podmínky přístroje pro cíl, který má být dosažen
  • Náklon a rotace vzorku je snadná, obraz zůstane vystředěn a ve fokusu nástroje vyhledávání 3D MultiFinder.

stránky výrobce

Elektronový mikroskop FlexSEM 1000

● Kompaktní FlexSEM 1000 (šířka jen 45 cm) dociluje rozlišení 4 nm použitím nově navrženého elektronoptického systému a vysoce citlivého detektoru.
● Zvětšení 6 x až 300 000x ( formát Polaroid)
● Uživatelský interface je vhodný I pro úplné začátečníky, s celou řadou automatických funkcí, vysoce kvalitní a rychlou akvizicí obrazů a dat
● Speciálně nová a zdokonalená funkce navigace (SEM-MAP) pomáhá k rychlé lokalizaci oblasti zájmu a poskytuje přesně korelované obrazy optické a SEM na jedno kliknutí.
● Díky rychlosti a automatickému zaostření a nastavení jasu je doba k dosažení velmi dobrého obrazu o třetinu kratší než u konvenčních výrobků.
● Nízkovakuový režim 6 – 100 Pa.
● Stolek pro vzorky s 3-osou motorizací : X 0-40mm/ Y 0-40mm / Z 5-15mm/ R 360°/ T -15° 90°
● Option: EDS mikroanalýza ( SDD s velkou plochou 30mm²) Oxford AZTec ONE

Elektronový mikroskop SU8200

FE-SEM kombinující nepřekonatelné možnosti zobrazení s prvkovou analýzou a vysokou účinností

Rodina přístrojů SU8200
Řada SU8200 je novou špičkovou platformou FE-SEM, nahrazující předchozí řadu SU8000. Pozornost byla věnována dalšímu zlepšení zobrazování a detekce signálů a jejich filtraci zvláště pro velmi nízká dopadová napětí (dnes již od 10 V!) a navíc doplnění analytických schopností jako EDX a  EBSD.
SU8200 má zaručené rozlišení 1nm při dopadovém napětí 1kV, a  0,8nm při urychlovacím napětí 15kV.

Řada SU8200 je k dispozici ve 3 různých verzích komor a stolků, s použitím stejné elektronové optiky a uživatelského rozhraní:

SU8220: malá komora, malý stolek
SU8230: velká komora, velký stolek,  EBSD port
SU8240: velká komora, velmi přesný velký stolek, EBSD port

 

Komora

Rozsah pohybu stolku (X,Y)

Motorizace

Load-lock

Detektory elektronů

SU8220

6"

50mm x 50mm

5 os

6"

Vrchní (Hi-pass
  filter optional)


Horní (ExB)


Spodní
 

SU8230

8", EBSD port

110mm x 110mm

5 os

6"


(8" option)

SU8240

8", EBSD port

110mm x 80mm

5 os
REGULUS


SU8200 Zdroj elektronů

Srdcem nové řady SU8200 je pokrokový studenoemisní zdroj. Elektronové dělo obsahuje nový vakuový systém a technologie patentované firmou Hitachi značně redukuje depozici molekul lynu na hrotu emitoru. Emotor vždy pracuje v “čistém” stavu a tím je výrazně zlepšen jak emisní proud, tak i stabilita svazku. Výsledkem je nejvyšší možný jas děla, vysoká stabilita a dokonalé rozlišení pro všechna urychlovací napětí díky nejmenší šířce energií. Zvýšená stabilita a proud sondy poskytuje možnost zlepšené prvkové mikroanalýzy při nízkých napětích.

stránky výrobce

Elektronový mikroskop SU8200

Iontová leptačka IM 4000

Nový hybridní systém pro přípravu řezů a povrchů vzorků iontovým leptáním

IM 4000 je určen pro přípravu vzorků pro zobrazování pomocí elektronového rastrovacího mikroskopu a mikroanalýzu EDS a EBSP. Lze jeho pomocí připravit jak řezy vzorků, tak upravit plošný povrch pomocí leptání ionty argonu.

IM 4000 používá nově vyvinutý vyjímatelný držák vzorků. V případě úpravy řezů vzorků dopadá svazek iontů na vzorek shora a vytváří planární řez vzorkem podél hrany masky, umístěné mezi vzorkem a zdrojem iontů. Při úpravě povrchu vzorku se dosáhne jemné struktury povrchu o průměru cca 5 mm vychylováním osy dopadajícího svazku iontů a též osy rotace vzorku při úhlu dopadajících iontů v rozmezí 30 až 80°.

IM 400 také dosahuje velké rychlosti odleptávání až 300 µm/h, čímž se výrazně zkracuje doba potřebná na vytvoření řezu vzorkem.

Technické parametry

Položka

Držák vzorků pro řezy

Držák vzorku pro úpravu povrchu

Plyn

argon

Urychlovací napětí

0 – 6 kV

Max. rychlost odleptávání

cca 300 µm/hod

cca 2 µm/hod

Max. velikost vzorku

20 x 12 x 7 mm (š x h x v)

Průměr  50mm, výška 25 mm

Regulace průtoku plynu

Hmotový průtokoměr

Čerpací systém

1 x TMP (33 l/sec) a 1 x RVP (135 l/min)

Rozměry (mm)

616 x 705 x 312 (šířka, hloubka, výška)

Váha (kg)

48 – hlavní přístroj,  28 - RVP

 stránky výrobce

Iontová leptačka IM 4000

Prozařovací elektronový mikroskop (TEM) HT 7800

Nová řada TEM 7800 používá unikátní a společností Hitachi patentovanou objektivovou čočku s duálním režimem (Dual-Gap Objective Lens) společně s technicky pokrokovou elektronovou optikou. Tak je umožněno vysoce parametrické zobrazování při malém zvětšení, vysokém kontrastu, velkém zorném poli i při velkém zvětšení. Zvláště pak verze HT7830 obsahuje speciální konfiguraci čoček s ultra vysokým rozlišením, poskytujícím ve své třídě nejlepší parametry pro zobrazení s vysokým rozlišením.

Jednoduchá obsluha s vysokou průchodností vzorků u tohoto přístroje je dána i použitím nového uživatelského rozhraní s inovativní funkcí vizualizace a navigace po celé ploše standardní TEM síťky. Nově vyvinutá funkce Image Navigation umožňuje intuitivní a zlepšenou funkčnost práce se vzorkem, včetně schopnosti automatického záznamu obrazů a uživatelem definovaných lokalit pomocí celkového přehledového obrazu.

Hlavní funkčnosti:

  • Ovládání TEM je optimalizováno pomocí jednoho, či dvou monitorů, umožňujících digitální provoz za běžných podmínek denního osvětlení místnosti.
  • Nové uživatelské rozhraní a navigační funkce umožňují účinnou TEM analýzu pro širokou škálu uživatelů, od začátečníků po experty.
  • Plně automatické generování spojených panoramatických obrazů, tomografie, CLEM, STEM, EDX a další funkce podporují širokou škálu analytických potřeb.
  • Použití unikátní objektivové čočky s duálním režimem (patent Hitachi) a inovace elektron-optického systému dovolují pozorování vzorků a jejich analýzu v režimech od širokoúhlého, přes vysokokontrastní při malém zvětšení, až po velké zvětšení a zobrazování s velmi vysokým rozlišením.
  • U verze přístroje HT7830 s čočkou pro ultra vysoké rozlišení se dosahuje ve své třídě nejlepšího on-axis rozlišení 0,19 nm mřížkové struktury s doplněním in-situ možností pozorování.

 Hlavní parametry:

Model HT7800 HT7830
Zdroj elektronů  W nebo LaB6

 W nebo LaB6

 Urychlovací napětí  20 - 120 kv(krok 100 V) 20 - 120 kV (krok 100 V) 
 Rozlišení (mřížka)  0,20 nm (off-axis, 100 kV) 0,19 nm (on-axis, 120 kV) 
 Maximální zvětšení  X 600 000 x 1 000 000 
 Maximální úhel náklonu  ± 70°  ± 10°

 

Stránky výrobce

Prozařovací elektronový mikroskop (TEM) HT 7800

Stolní elektronový mikroskop TM3030Plus

Nová verze  stolního elektronového mikroskopu

Technické specifikace el. mikroskopu TM 3030Plus:
Zvětšení:15 až 120 000 x

 Elektronová optika:

  • Zdroj elektronů: předem vystředěná vložka  s vláknem
  • Urychlovací napětí: 5 kV ( 3 režimy zobrazení – Low-mag, Middle-mag, High-mag)
                                      15 kV, EDX analytický režim
  • Kondenzorová čočka: čočka s permanentním magnetem + elektromagnetická čočka
  • Objektivová čočka: elektromagnetická
  • Cívka korekce astigmatizmu: oktapolová elektromagnetická čočka, metoda XY
  • Rastrující čočka: dvojitá deflexní elektromagnetická čočka
  • Posun obrazu: více než +/-50 µm ( D=4,5 mm, pororovací režim: normální)
  • Režim pozorování: standardní režim / režim s redukovaným nabíjením
  • Detekční systémy: BSE - citlivý  4 -segmentový  detektor zpětně odražených elektronů (BSE)                                  SE UVP – detektor sekundárních elektronů pro celý rozsah tlaků
  • Režimy pozorování vzorku: BSE obraz ( Standardní – COMPO, Shadow 1, Shadow 2, TOPO)
                                                     SE obraz,  mix SE a BSE

 Stolek pro vzorek:

  • Posun vzorku: osa X: +/- 17,5 mm, osa +/- Y: 17,5 mm
  • Maximální velikost vzorku pro pozorování: 35 x 35 mm
  • Maximální průměr vzorku: 70 mm
  • Maximální tloušťka vzorku: 50 mm ( D=4,5 mm)

 Vakuový systém:                            

  • Vývěvy: turbomolekulární vývěva 30 l/ s a membránová vývěva 1 m3/h
  • Plně automatický systém s elektroventilem
  • Vakuová měrka: Pirani
  • Rychlost evakuace: max. 3 minuty od atmosférického tlaku
  • Tlak ve vzorkové komoře: standardní režim, režim sníženého nabíjení (low-vacuum)

 Zobrazení na displeji:

  • Forma obsluhy: Grafický uživatelský interface (GUI), OS Windows 7 (32/64 bit), myš, klávesnice
  • Funkce automatického nastavení obrazu: auto start, automatické zaostření, automatické nastavení jasu
  • Paměťový rastr obrazu: 640 x 480 nebo 1280 x 960 zobr. bodů
  • Formát obrazu: BMP, TIFF, JPEG

Funkce optimalizace obrazu: původní data, jemný režim, jemný režim s vysokým kontrastem

  • Informace o obrazu: mikrometrická stupnice, datum a čas, číslo obrazu a komentář
  • Bezpečnostní zařízení: funkce ochrany před proudovým přepětím, vestavěný přerušovač

 EDS prvková mikroanalýza

  • Silicon Drift Detector (SDD) bez chlazení dusíkem
  • Aktivní plocha detektoru: 30 mm2
  • Rozsah prvků: B (5) – Am (95)
  • Rozlišení: 154 eV (pro Cu Kα), 135 eV (pro Mn Kα)

 Další příslušenství:

  • Stolky s ohřevem/chlazením
  • Stolek s rotací
  • Stolek pro tahové experimenty

stránky výrobce

Systém Hitachi “MirrorCLEM” pro korelativní světelnou a elektronovou mikroskopii

Nový systém zjednodušuje korelativní zobrazování jednoho místa 

Hitachi High-Technologies Corporation a RIKEN, jeden z japonských národních institutů pro vědecký výzkum uveřejnili ukončení vývoje systému zjednodušujícího korelativní světelnou a elektronovou mikroskopii (CLEM) a jeho uvedení na trh.

CLEM techniky byly používány v posledních letech v různých aplikacích, od nanotechnologií, materiálů, medicínu až pobiovědy.Obtížným úkolem je však pozorování stejné oblasti vzorkupomocí mikroskopů světelných (např. fluorescenčních) a elektronových při různých zvětšeních a způsobech pozorování.

Nový “MirrorCLEM” využívá např. mikroskopický postup a techniku přípravy vzorků organely, zasazených do pryskyřice pro uchování jak zelenýchfluorescenčních proteinů, tak i její struktury a následné umístění do speciálního stojanu pro pozorování těchto řezů na krycím sklíčku ve FE-SEM. Součástí je i software pro rychlé a přesné pozorování stejného místa oběma mikroskopy.

Řezy vzorků lze sledovat pod světelným mikroskopem od malých zvětšení až do okamžiku, kdy je dostatečně patrná struktura oblasti zájmu. Stolek FE-SEM může být koordinovaně posunut do stejného místa při malém zvětšení, jaké bylo použito u světelného mikroskopu. Následně pak zorné pole (FOV) ve FE-SEM se může posunout do jakékoliv oblasti zájmu v obraze vzorku při malém zvětšení, získaného ze světelného mikroskopu a to při stejném zvětšení. Systém také dokáže překládat obrazy světelného mikroskopu a FE-SEM v reálném čase. Hitachi High-Tech nabízí “MirrorCLEM” jako option pro FE-SEM řady 8200 a může být připojen k celé řadě světelných mikroskopů.

Systém Hitachi  “MirrorCLEM” pro korelativní světelnou a elektronovou mikroskopii

Naši dodavatelé:

© 2014 Specion.cz - Laboratorní a zkušební technika   |   Napsali o nás