Přístroje

Autoemisní rastrovací mikroskop SU5000

SU5000 Univerzální Schottky FE-SEM Hitachi se snadnou obsluhou

SU5000 je nový univerzální autoemisní Schottky SEM ideálně vhodný pro širokou škálu aplikací zobrazování a analýzy.
25 let  know-how firmy Hitachi se SEM je zúročeno v SU5000 tak, aby SEM rychle a snadno poskytl nejlepší možné výsledky při vysokém zvětšení, nezávisle na úrovni zkušeností obsluhy.

SU5000 Parametry a funkce
Jak zobrazování při vysokém zvětšení, tak ultra rychlá analýza, jsou dosahovány pomocí nově vyvinutého Schottkyho elektronového děla, poskytujícího stabilní a jemně zaostřenou sondu s proudy od 1pA up do >200nA.

Díky nové superkonické objektivové čočce SU5000 nedochází k průniku rozptýlených magnetických polí do vzorku a tak lze rutinně pozorovat i magnetické vzorky. Tato konstrukce čočky zaručuje použití analytických technik jako EDX, EBSD, WDX atd. a to při krátkých pracovních vzdálenostech.

Zobrazování s vysokým rozlišením je zlepšeno funkcí zpomalení elektronového svazku, s dopadovými energiemi až 100eV. SE rozlišení 2nm při 1kV se dosahuje běžně. Simultánní použití vysoce citlivého in-column SE detektoru a unikátního 5 segmentového BSE detektoru je otázkou kliknutí.

Nevodivé a dokonce vlhké či olejné vzorky se pozorují v režimu VP-SEM (variabilní tlak v komoře). Komora pro vzorky se tlakuje mezi 10 a 300Pa pouhým kliknutím myši.
Tubus a vakuový systém jsou navrženy optimalizovaně pro režim VP:

  • Analytický proud sondy až do 200nA je v režimu VP také k dispozici
  • Zobrazování pomocí 5 segmentového BSE detektoru (standardní v option VP balíčku) a Detektoru pracujícího v celém rozsahu tlaků komory (Ultra variable pressure detector =UVD) je možné v celém rozsahu zvětšení
  • Výměna či zasouvání apertur či detektorů omezovaných tlakem není nutná

Flexibilní konstrukce vysouvacího stolku pro vzorky SU5000 umožňuje rychlou záměnu vzorků o průměru až 200mm a výšce 80mm. Přímým a pohodlným přístupem ke komoře a vzorku, včetně záměny příslušenství pro upevnění vzorku se jejich výměna urychlí. Speciální stolky pro ohřev, chlazení, tahové či tlakové experimenty, použití mikromanipulátorů apod. jsou také k dispozici.

Revoluční ovládání SEM: EM Wizard
SU5000 nabízí vysokou výkonnost  -  a to pro každého! EM Wizard je skutečně inovativní koncepce ovládání:  namísto toho, aby si obsluha sama musela vybírat celou řadu parametrů nastavení, jako energii svazku, proud, výběr detektoru, nastavení tubusu a stigmatizmu, EM Wizard si jednoduše vyžádá od operátora, jaký typ informace o vzorku potřebuje. Pak se automaticky nastaví parametry zobrazení. Plně automatické nastavení tubusu a stigmatizmu, vycházející z 25-letých zkušeností Hitachi u plně automatizovaných systémů CD-SEM, je vestavěno do tohoto unikátního software a eliminují problém s výsledky závislými na operátorovi. Manuální ovládání je samozřejmě také k dispozici pro ty, kteří si sami chtějí nastavit parametry.

Navigace na vzorku a výběr požadované perspektivy zobrazení nebyl nikdy snazší. Hitachi's Nový systém výběru zobrazení firmy Hitachi,  3D-MultiFinder, kombinuje importované optické obrazy do komplexní funkce 3D navigace. Stačí si jen vybrat, jak se na vzorek chcete podívat, a SEM bude vaše přání následovat.

Pomocí funkce EM Wizard mohou začátečníci získat výsledky jako experti.

  • Automatická a okamžitá intuitivní optimalizace obrazu
  • Vizuální a interaktivní průvodce umožňuje operátorovi vybrat typ informace, který chce o vzorku získat, optimalizovat operační podmínky přístroje pro cíl, který má být dosažen
  • Náklon a rotace vzorku je snadná, obraz zůstane vystředěn a ve fokusu nástroje vyhledávání 3D MultiFinder.

stránky výrobce

Elektronový mikroskop FlexSEM 1000

● Kompaktní FlexSEM 1000 (šířka jen 45 cm) dociluje rozlišení 4 nm použitím nově navrženého elektronoptického systému a vysoce citlivého detektoru.
● Zvětšení 6 x až 300 000x ( formát Polaroid)
● Uživatelský interface je vhodný I pro úplné začátečníky, s celou řadou automatických funkcí, vysoce kvalitní a rychlou akvizicí obrazů a dat
● Speciálně nová a zdokonalená funkce navigace (SEM-MAP) pomáhá k rychlé lokalizaci oblasti zájmu a poskytuje přesně korelované obrazy optické a SEM na jedno kliknutí.
● Díky rychlosti a automatickému zaostření a nastavení jasu je doba k dosažení velmi dobrého obrazu o třetinu kratší než u konvenčních výrobků.
● Nízkovakuový režim 6 – 100 Pa.
● Stolek pro vzorky s 3-osou motorizací : X 0-40mm/ Y 0-40mm / Z 5-15mm/ R 360°/ T -15° 90°
● Option: EDS mikroanalýza ( SDD s velkou plochou 30mm²) Oxford AZTec ONE

Elektronový mikroskop SU8200

FE-SEM kombinující nepřekonatelné možnosti zobrazení s prvkovou analýzou a vysokou účinností

Rodina přístrojů SU8200
Řada SU8200 je novou špičkovou platformou FE-SEM, nahrazující předchozí řadu SU8000. Pozornost byla věnována dalšímu zlepšení zobrazování a detekce signálů a jejich filtraci zvláště pro velmi nízká dopadová napětí (dnes již od 10 V!) a navíc doplnění analytických schopností jako EDX a  EBSD.
SU8200 má zaručené rozlišení 1nm při dopadovém napětí 1kV, a  0,8nm při urychlovacím napětí 15kV.

Řada SU8200 je k dispozici ve 3 různých verzích komor a stolků, s použitím stejné elektronové optiky a uživatelského rozhraní:

SU8220: malá komora, malý stolek
SU8230: velká komora, velký stolek,  EBSD port
SU8240: velká komora, velmi přesný velký stolek, EBSD port

 

Komora

Rozsah pohybu stolku (X,Y)

Motorizace

Load-lock

Detektory elektronů

SU8220

6"

50mm x 50mm

5 os

6"

Vrchní (Hi-pass
  filter optional)


Horní (ExB)


Spodní
 

SU8230

8", EBSD port

110mm x 110mm

5 os

6"


(8" option)

SU8240

8", EBSD port

110mm x 80mm

5 os
REGULUS


SU8200 Zdroj elektronů

Srdcem nové řady SU8200 je pokrokový studenoemisní zdroj. Elektronové dělo obsahuje nový vakuový systém a technologie patentované firmou Hitachi značně redukuje depozici molekul lynu na hrotu emitoru. Emotor vždy pracuje v “čistém” stavu a tím je výrazně zlepšen jak emisní proud, tak i stabilita svazku. Výsledkem je nejvyšší možný jas děla, vysoká stabilita a dokonalé rozlišení pro všechna urychlovací napětí díky nejmenší šířce energií. Zvýšená stabilita a proud sondy poskytuje možnost zlepšené prvkové mikroanalýzy při nízkých napětích.

stránky výrobce

Elektronový mikroskop SU8200

Iontová leptačka IM 4000

Nový hybridní systém pro přípravu řezů a povrchů vzorků iontovým leptáním

IM 4000 je určen pro přípravu vzorků pro zobrazování pomocí elektronového rastrovacího mikroskopu a mikroanalýzu EDS a EBSP. Lze jeho pomocí připravit jak řezy vzorků, tak upravit plošný povrch pomocí leptání ionty argonu.

IM 4000 používá nově vyvinutý vyjímatelný držák vzorků. V případě úpravy řezů vzorků dopadá svazek iontů na vzorek shora a vytváří planární řez vzorkem podél hrany masky, umístěné mezi vzorkem a zdrojem iontů. Při úpravě povrchu vzorku se dosáhne jemné struktury povrchu o průměru cca 5 mm vychylováním osy dopadajícího svazku iontů a též osy rotace vzorku při úhlu dopadajících iontů v rozmezí 30 až 80°.

IM 400 také dosahuje velké rychlosti odleptávání až 300 µm/h, čímž se výrazně zkracuje doba potřebná na vytvoření řezu vzorkem.

Technické parametry

Položka

Držák vzorků pro řezy

Držák vzorku pro úpravu povrchu

Plyn

argon

Urychlovací napětí

0 – 6 kV

Max. rychlost odleptávání

cca 300 µm/hod

cca 2 µm/hod

Max. velikost vzorku

20 x 12 x 7 mm (š x h x v)

Průměr  50mm, výška 25 mm

Regulace průtoku plynu

Hmotový průtokoměr

Čerpací systém

1 x TMP (33 l/sec) a 1 x RVP (135 l/min)

Rozměry (mm)

616 x 705 x 312 (šířka, hloubka, výška)

Váha (kg)

48 – hlavní přístroj,  28 - RVP

 stránky výrobce

Iontová leptačka IM 4000

Prozařovací elektronový mikroskop (TEM) HT 7800

Nová řada TEM 7800 používá unikátní a společností Hitachi patentovanou objektivovou čočku s duálním režimem (Dual-Gap Objective Lens) společně s technicky pokrokovou elektronovou optikou. Tak je umožněno vysoce parametrické zobrazování při malém zvětšení, vysokém kontrastu, velkém zorném poli i při velkém zvětšení. Zvláště pak verze HT7830 obsahuje speciální konfiguraci čoček s ultra vysokým rozlišením, poskytujícím ve své třídě nejlepší parametry pro zobrazení s vysokým rozlišením.

Jednoduchá obsluha s vysokou průchodností vzorků u tohoto přístroje je dána i použitím nového uživatelského rozhraní s inovativní funkcí vizualizace a navigace po celé ploše standardní TEM síťky. Nově vyvinutá funkce Image Navigation umožňuje intuitivní a zlepšenou funkčnost práce se vzorkem, včetně schopnosti automatického záznamu obrazů a uživatelem definovaných lokalit pomocí celkového přehledového obrazu.

Hlavní funkčnosti:

  • Ovládání TEM je optimalizováno pomocí jednoho, či dvou monitorů, umožňujících digitální provoz za běžných podmínek denního osvětlení místnosti.
  • Nové uživatelské rozhraní a navigační funkce umožňují účinnou TEM analýzu pro širokou škálu uživatelů, od začátečníků po experty.
  • Plně automatické generování spojených panoramatických obrazů, tomografie, CLEM, STEM, EDX a další funkce podporují širokou škálu analytických potřeb.
  • Použití unikátní objektivové čočky s duálním režimem (patent Hitachi) a inovace elektron-optického systému dovolují pozorování vzorků a jejich analýzu v režimech od širokoúhlého, přes vysokokontrastní při malém zvětšení, až po velké zvětšení a zobrazování s velmi vysokým rozlišením.
  • U verze přístroje HT7830 s čočkou pro ultra vysoké rozlišení se dosahuje ve své třídě nejlepšího on-axis rozlišení 0,19 nm mřížkové struktury s doplněním in-situ možností pozorování.

 Hlavní parametry:

Model HT7800 HT7830
Zdroj elektronů  W nebo LaB6

 W nebo LaB6

 Urychlovací napětí  20 - 120 kv(krok 100 V) 20 - 120 kV (krok 100 V) 
 Rozlišení (mřížka)  0,20 nm (off-axis, 100 kV) 0,19 nm (on-axis, 120 kV) 
 Maximální zvětšení  X 600 000 x 1 000 000 
 Maximální úhel náklonu  ± 70°  ± 10°

 

Stránky výrobce

Prozařovací elektronový mikroskop (TEM) HT 7800

Stolní elektronový mikroskop TM3030Plus

Nová verze  stolního elektronového mikroskopu

Technické specifikace el. mikroskopu TM 3030Plus:
Zvětšení:15 až 120 000 x

 Elektronová optika:

  • Zdroj elektronů: předem vystředěná vložka  s vláknem
  • Urychlovací napětí: 5 kV ( 3 režimy zobrazení – Low-mag, Middle-mag, High-mag)
                                      15 kV, EDX analytický režim
  • Kondenzorová čočka: čočka s permanentním magnetem + elektromagnetická čočka
  • Objektivová čočka: elektromagnetická
  • Cívka korekce astigmatizmu: oktapolová elektromagnetická čočka, metoda XY
  • Rastrující čočka: dvojitá deflexní elektromagnetická čočka
  • Posun obrazu: více než +/-50 µm ( D=4,5 mm, pororovací režim: normální)
  • Režim pozorování: standardní režim / režim s redukovaným nabíjením
  • Detekční systémy: BSE - citlivý  4 -segmentový  detektor zpětně odražených elektronů (BSE)                                  SE UVP – detektor sekundárních elektronů pro celý rozsah tlaků
  • Režimy pozorování vzorku: BSE obraz ( Standardní – COMPO, Shadow 1, Shadow 2, TOPO)
                                                     SE obraz,  mix SE a BSE

 Stolek pro vzorek:

  • Posun vzorku: osa X: +/- 17,5 mm, osa +/- Y: 17,5 mm
  • Maximální velikost vzorku pro pozorování: 35 x 35 mm
  • Maximální průměr vzorku: 70 mm
  • Maximální tloušťka vzorku: 50 mm ( D=4,5 mm)

 Vakuový systém:                            

  • Vývěvy: turbomolekulární vývěva 30 l/ s a membránová vývěva 1 m3/h
  • Plně automatický systém s elektroventilem
  • Vakuová měrka: Pirani
  • Rychlost evakuace: max. 3 minuty od atmosférického tlaku
  • Tlak ve vzorkové komoře: standardní režim, režim sníženého nabíjení (low-vacuum)

 Zobrazení na displeji:

  • Forma obsluhy: Grafický uživatelský interface (GUI), OS Windows 7 (32/64 bit), myš, klávesnice
  • Funkce automatického nastavení obrazu: auto start, automatické zaostření, automatické nastavení jasu
  • Paměťový rastr obrazu: 640 x 480 nebo 1280 x 960 zobr. bodů
  • Formát obrazu: BMP, TIFF, JPEG

Funkce optimalizace obrazu: původní data, jemný režim, jemný režim s vysokým kontrastem

  • Informace o obrazu: mikrometrická stupnice, datum a čas, číslo obrazu a komentář
  • Bezpečnostní zařízení: funkce ochrany před proudovým přepětím, vestavěný přerušovač

 EDS prvková mikroanalýza

  • Silicon Drift Detector (SDD) bez chlazení dusíkem
  • Aktivní plocha detektoru: 30 mm2
  • Rozsah prvků: B (5) – Am (95)
  • Rozlišení: 154 eV (pro Cu Kα), 135 eV (pro Mn Kα)

 Další příslušenství:

  • Stolky s ohřevem/chlazením
  • Stolek s rotací
  • Stolek pro tahové experimenty

stránky výrobce

Stolní mikroskop Hitachi TM4000

Nová řada TM4000 stolních elektronových mikroskopů Hitachi obsahuje inovační technologie, měnící schopnosti těchto přístrojů. Tato nová generace již dlouhou dobu vyráběných stolních mikroskopů řady TM shrnuje přednosti, jako snadnost ovládání, optimalizované zobrazení a vysokou kvalitu obrazu, při zachování kompaktnosti známých přístrojů Hitachi TM. Seznamte se s novým rozměrem schopností stolních mikroskopů Hitachi TM4000 a  TM4000 Plus.

Technické parametry

Parametr

TM4000Plus

TM4000

Zvětšení

×10~×100,000 (na formátu fotografie Polaroid)
×25~×250,000 (na monitoru)

Urychlovací napětí

5 kV, 10 kV, 15 kV

Obrazový signál

Zpětně odražené elektrony (BSE)
Sekundární elektrony (SE)
Mix ( BSE + SE)

Zpětně odražené elektrony (BSE)

Vakuový režim

BSE: Vodivý vzorek /Standard /Redukce nabíjení
SE: Standard/ Redukce nabíjení
Mix: Standard/ Redukce nabíjení

BSE: Standard/ Redukce nabíjení

Režim zobrazení(BSE)

COMPO/Shadow 1/Shadow 2/TOPO

Pohyb stolku

X: 40 mm Y: 35 mm

Maximální velikost vzorku

80 mm ( průměr) , 50 mm  (výška)

Elektronové dělo

Předem vystředěná patrona s W vláknem

Systém detekce signálu

BSE: Vysoce citlivý 4-segmentový BSE detektor
SE: Vysoce citlivý SE detektor pro nízké vakuum

BSE: Vysoce citlivý 4-segmentový BSE detektor

Automatické funkce nastavení obrazu

Auto start, Auto focus, Auto – jas/ kontrast

Velikost uloženého obrazu

2,560 × 1,920 pixel, 1,280 × 960 pixel, 640 × 480 pixel

Formáty obrazu

BMP, TIFF, JPEG

Údaje na obraze

Škála rozměrů ( um), zvětšení, datum a čas, číslo obrázku a komentář, pracovní vzdálenost WD, urychlovací napětí, podmínky pozorování, režim pozorování, režim zobrazení, detekovaný signál

Čerpací systém

 ( vakuové vývěvy)

Turbmolekulární vývěva 67 L/s
Membránová vývěva: 20 L/min

Funkce pro asistenci při provozu

Rotace rastru, přednastavené zvětšení ( 3 hodnoty), posun obrazu (±50 µm při WD 6.0 mm)

Bezpečnostní funkce

Ochrana před vysokým proudem svazku, vestavěná ELCB

Rozměry/ váha

Hlavní přístroj:
330 ( šířka) × 614 (hloubka) × 547 (výška) mm, 52 kg (motorizovaný stolek)
330 (šířka) × 617 (hloubka) × 547 (výška) mm, 52 kg (manuální stolek)
Membránová vývěva : 144(šířka) × 270 (hloubka) × 216 (výška) mm

stránky výrobce

Stolní mikroskop Hitachi TM4000

Naši dodavatelé:

© 2014 Specion.cz - Laboratorní a zkušební technika   |   Napsali o nás